由飞利浦和国际ASM International组成的合资企业的使命是将飞利浦开发的PAS 2000商业化。

一张图片着眼于ASML神话，描绘了这样的图片：一家小型，好奇的创业公司被困在一个粘稠的棚子里，并试图进入蓬勃发展的半导体市场。

但是我们如何达到这一步骤？谁是ASM光刻的早期参与者？他们为什么要联手成立这家新公司？

这个故事讲述了飞利浦中的一个小项目是如何在快速发展的半导体生态系统边缘徘徊的，然后在荷兰的Feld Hofen中找到了他的地位。

公司的建立是新事物的开始，这也是十年发展的延续。

1974年，研究人员聚集在Philips Research Institute的Natlab的父亲I原型周围

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工业部

在1960年代和1970年代，Chip制造商建立了所需的所有步骤，以使绝大多数的半导体价值链在内部进行。随后，在1970年代末和1980年代初，半导体制造技术的规模和复杂性迅速增加。

这一发展促进了半导体价值链中的劳动分工。

半导体设备行业的出现是提供现成的 - 制作切割 - 边缘解决方案。凭借这种准备就绪的能力，芯片制造商和用户开发自己的芯片制造设备不再有意义。

专业设备供应商对于开发用于微芯片上印刷图案的复杂光化学系统尤其重要。改进这些系统，以便它们可以打印较小的功能是促进摩尔定律的关键。对于芯片制造商而言，更多的晶体管意味着以较低的成本计算能力。

半导体生态系统的这种转变反映在飞利浦等内部多元化公司中，这些公司需要将芯片用于各种产品和应用。他们的内部设备开发提供了高标准。

但是，飞利浦的内部组织不支持其光学技术对行业竞争水平的敏捷性，适应性和需求。取而代之的是，像飞利浦这样的大型公司剥离了制造设备业务，以便在这些技术过时之前赚钱。

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PAS 2000的原型

正是在这种情况下，飞利浦开始将自己的晶片开发到飞机上，以模式硅晶片。 Philips Research Center开发了原型硅Repeater I和II。飞利浦自动步进器是由这些研究原型诞生的。

1980年5月的父亲II原型的照片

在飞利浦研究中心，飞利浦的部门主要关注基础研究，而晶圆措施有些异常。市场需求越来越多地推动企业研发，并且有许多用于工程制造设备的应用。自1978年以来，飞利浦科学与工业（S＆I）部门以Pas2000的名义促进了商业化。

从飞利浦研究中心转移到S＆I之后，晶圆的发展已成为真正的跨学科事务。两个部门的员工推动了他们的意见和工作方法。这种合作显然可以被视为迈向SO估算的“系统工程”的第一步。

PAS 2000项目不是Damo Philips，只是一个很小的活动。然而，它遇到了时间压力和成本增加。面对资源的稀缺性，当时的S＆I副董事Wim Troost使用个人免费控制预算来维护项目的运营。他还寻求飞利浦董事会和荷兰政府的进一步支持。

PAS 2000的综合团队

S＆I接管该项目后，Troost和其他人很快意识到，外部客户的参与对于验证技术是必不可少的。他们无法为飞利浦创建PAS 2000。

如果他们想建立自己的光定位系统，他们必须与多个客户紧密合作才能将其商业化。

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工业政策，投资者和企业家

从1970年代后期开始，在欧洲委员会的指导下，西欧政府政府重塑了工业政策。他们专注于创新和协作，旨在针对新兴行业，尤其​​是发展迅速发展的半导体行业和微电子行业。

这些政策是促进经济活动的新手段。如果可能的话，他们可以恢复陷入困难的公司团体。其中许多（包括飞利浦）已经开始崩溃。

应委员会的要求，飞利浦和其他公司表达了这些行业对各自政府的重要性。在收到欧洲最大的电子公司的消息后，荷兰政府进一步理解了这一主题，并为他们的后续行动提供了基础。

成本上升，全球竞争和技术进步迫使大型企业剥夺非核心业务并重新调整其业务优先事项。对于飞利浦来说，其中一项活动是他们进入飞机的晶圆。

同时，新兴的风险投资公司和企业家创业公司和大型企业为工业增长提供了新的范式。

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得到进步的压力

1982年初，飞利浦的光刻产品雄心勃勃。他们需要更多的工程资源。尽管他们找到了评估工具的外部客户IBM，但如果可以在1982年夏天及时交付，仍然存在很大的不确定性。

飞利浦研究中心的工程师立即伸出了援助之手。 S＆I高管经常访问海牙和布鲁塞尔，从荷兰政府和欧洲委员会寻求额外的资金。

在时间的压力下，荷兰的资金和经济事务部，飞利浦S＆I开始为飞机的晶圆找到合作伙伴。这引起了与Cobilt（一家制造模型和轨道的公司）的初步讨论，然后与光刻市场领导者Perkin Elmer进行了讨论。

同时，荷兰经济事务部，飞利浦和一家荷兰公司ASM International（或ASM）（一家荷兰公司）开始了三方对话。在Esprit的背景下，欧盟委员会的一项新型微电子计划，Chip Companies对其对美国设备的依赖表示关注。为了满足行业需求，该部和亚瑟·德尔·普拉多（Arthur del Prado）本身建议将ASM用作潜在的解决方案。

作为ASM的创始人兼首席执行官，德尔·普拉多（Del Prado）反映了新兴和流行的企业家精神。他是半导体设备领域的先驱，并于1958年在硅谷引入了硅。随后，他于1981年在纳斯达克首次在纳斯达克公开筹款引起了轰动，这是荷兰公司第一次。德尔·普拉多（Del Prado）的愿景和毅力通过展示高科技行业初创公司的变化来促进他的公司声誉。

企业家对飞利浦感兴趣。他意识到，越来越多的大型公司通过剥离创新来降低成本。这使他们受人尊敬的研究实验室实际上是“孵化器”。正如他在1982年2月所说的那样：“我非常怀疑是否要努力与光线领域的竞争对手联系？一家像飞利浦这样的大公司一起发生了……”尽管如此，德尔·普拉多仍然怀疑了飞利浦高管合作的意愿在创新中。

几个月后，即1982年10月7日，德尔·普拉多（Del Prado）学习了PAS 2000项目。他认为，与飞利浦的合作可能是他进入了大型利印刷市场的门票。此后不久，企业家表达了ASM对合作的兴趣。该部同意德尔·普拉多（Del Prado）的观点，指出这种伙伴关系在荷兰具有潜在的战略兴趣。这种伙伴关系可以促进微电子学领域的荷兰能力。

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寻求伙伴关系

但是，飞利浦认为ASM的地位太低，因此Perkin Elmer受到了青睐。尽管德尔·普拉多（Del Prado）具有企业家精神并取得了成功，但飞利浦高管仍然将ASM视为一家创业家庭。 Perkin Elmer是一家多元化的大型公司。它具有巨大的安装照相主义的基础，被认为是更强大的伙伴。

兴趣是相互的。到1980年代初，晶圆步骤可以比Perkin Elmer的Micdrigns对Perkin Elmer的Micdrigns提供更多的控制。在激烈的竞争中，这家美国公司试图迅速巩固其市场地位。

Perkin Elmer正在考虑与Philips S＆I或Liechtenstein的初创审查员合作。他们更喜欢飞利浦，因为该公司的资源和PAS 2000是先进的。在拟议的合资企业中，Perkin Elmer将发挥领导作用，并负责销售和服务。飞利浦将贡献技术和制造能力。

但是，飞利浦犹豫不决是否授予其内部资源的访问，例如具有下属地位的飞利浦研究中心。这种犹豫的谈判使谈判太长了，最后，佩尔金·埃尔默与审查员合作。

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工程的紧迫性

到1983年，飞利浦S＆I的晶圆飞行飞机团队由约50名工程师组成，面临不确定性。他们将升级，生产和出售该机器约1.2亿荷兰盾牌（目前约为2.45亿欧元的水平）。尽管Troost尽力而为，包括与Varian和Panasonic探索伙伴关系，但进入小组的晶圆步骤为时已晚。紧迫性是显而易见的。

S＆I技术主管Georg de Kruyff受到了有关ASM表现的活跃新闻的启发，他决定在1983年春季恢复与Arthur Del Prado的讨论。在没有任何损失的情况下，他和一些同事访问了ASM的总部，ASM总部在Biltofintofin的总部，荷兰。德尔·普拉多（Del Prado）渴望飞利浦的技术和合作伙伴关系，两党迅速达成协议。

将光学雕刻添加到其产品组合中，将使ASM几乎成为半导体设备的停机商店。这项巨大的投资几乎等同于1982年ASM的所有收入。但是，飞利浦高管并不知道德尔·普拉多（Del Prado）准备在1983年之前列出纳斯达克股份有更多的ASM股票，资金不会成为问题。

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ASML的开始

1983年9月5日，飞利浦和ASM宣布打算成立合资企业。在接下来的几个月中，他们改善了合作伙伴关系的细节。考虑经济事务部或其投资工具的股票。进入飞利浦研究中心的谈判中心。指定实物和现金捐赠。起草了投资回报计划。雄心勃勃且可见的新总经理Gjalt Smit上任。

重要的是，现有的50名飞利浦S＆I员工获得了非常有吸引力的就业条款。但是，由于他们在飞利浦工作了一生，因此他们认为合资是飞利浦资产的一种形式。人们不愿对没有市场访问的初创公司充满信心，必须重新设计关键技术。尽管如此，该组织仍然签订了合同。

飞利浦和ASML签署了合资企业

1984年4月1日，ASM Liography开始操作。它最初位于Eindhoven的Philips S＆I的Strijp TQ大楼中。这家新颖的公司注入了新的资源和竞争方法，重新启动了飞利浦进入弓箭市场的努力。

ASML在Eindhoven的第一个办公室

ASM光刻飞出ASM光刻，飞出了起步块。该合资企业是由诸如补充资源，相对较高的自主权，飞利浦中最先进的工程实践以及启发人们的技术和商业挑战等全面因素促进的。它很快增加了更多的员工，新员工的热情迅速传播到了原始的晶圆步骤团队。

升级PAS 2000的业务计划的最大缺点是：其液压晶圆阶段。尽管Troost不喜欢在半导体清洁室使用基于石油的技术，但他早在1980年就选择了成熟的技术，而不是更具创新性的电气阶段。即使在当时，很明显，PA最终需要现代化。现在是时候尽快进行现代化了。

该初创公司的规模迅速超出了其设施。通过添加一些不舒服的棚屋来暂时解决此问题。 Veldhoven被选为永久总部的位置。地标建筑突出了新公司的形象和承诺。

从一开始，ASML被视为对创新驱动企业家的精神的反映，并有望确保荷兰的未来经济能力。凭借冲动和热情，年轻的公司开始了充满不确定性但充满希望的未来。

搬到Veldhoven可能是这个故事的结尾，但这只是ASML的开始。在飞利浦早期，它奠定了ASML成长为我们今天所认识的公司的基础。团队具有创造力，坚定不移，追求技术创新，并突破了可能的限制。

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谦逊的

根据自1970年代初以来的研发工作，我们在同年启动了第一个系统：PAS 2000步骤。

我们迅速发展，飞利浦和Asmi扩大了投资，以帮助ASML成功。 1985年，我们搬到了Veldhoven的新办公室和工厂，拥有100名员工，距离飞利浦研究实验室只有几公里。

1986年，我们将PAS 2500步骤推向市场并采用了新标准，这将成为我们将来机器中许多创新的基础。同年，我们与镜头制造商Carl Zeiss建立了现有合作伙伴关系。

ASML在Veldhoven的第一座建筑物

到1988年，飞利浦在台湾建立合资基金会后，我们开始进入亚洲市场。在美国，员工人数从几个增加到84个，分布在五个办公室地点。但是，在激烈的市场竞争和许多供应商的情况下，这家来自荷兰的小公司无法突破。

ASML客户很少，并且不能自我支持。更糟糕的是，股东ASMI无法维持高级投资，几乎没有回报，并且决定退出，并且全球电子行业的状况恶化了。

我们年轻的，吞咽现金的光刻公司的生与死和死亡是不合理的。在公司信念和迫切需要资金的指导下，ASML高管联系了飞利浦董事会成员Henk Bodt，后者说服了他的同事们扩大最终援助。

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从援助之手到第一次公共筹款

这项投资做得很好。在这一年中，我们推出了一个突破性的平台PAS5500。PAS5500吸引了主要客户的ASML，以通过其领先的生产率和解决方案来实现盈利能力。这是成熟的第一步。

PAS 5500平台的早期广告

PAS 5500是ASML的平台。在发布之前，ASML在光刻市场中排名第三，落后于巨人尼康和佳能。但是，PAS 5500平台的成功迅速使ASML成为第二名，并为全球轻型机器的全球领导者奠定了基础。

PAS 5500来自飞利浦研究人员在1970年代发起的一系列系统。该平台的名称本身反映了其传统和我们与飞利浦的长期合作关系：飞利浦自动步进（PAS）。

Ted Shafer是ASML的长期雇员。他目前是成熟的产品销售经理。他的职业生涯与这个突破平台密切相关。

泰德回忆说：“我于1991年在PAS 5500发射的同年加入了ASML。” “我的第一份工作是担任应用程序工程师。他负责将第一个PAS 5500运送到美国菲什基尔的IBM。我的责任是优化系统的性能并帮助客户工厂的新系统以实现成熟生产水平成熟。”

第一个PAS 5500系统和TED为优化优化的努力促使IBM启动了System/390系列。用他们的话来说，该系列是“历史上IBM提供的最强大的计算机”。

借助这些领先的产品，ASML于1995年成为一家完全独立的上市公司，并在阿姆斯特丹和纽约证券交易所上市。飞利浦在第一次公开募股中出售了一半股票，并在未来几年出售了其余股票。

公开募股首次带来了进一步促进我们增长的资金。我们扩大了Veldhoven de Run的研发和生产设施，后来成为我们的新总部。

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Twinscan和Immersion Technology铺平了道路

2001年，我们启动了Twinscan系统及其革命性的双阶段技术。这些系统在测量和对齐下一个晶圆的同时暴露了另一种晶圆，从而最大程度地提高了系统的生产率和准确性，从而提高了客户的所有权价值。

同年，我们完成了对硅谷集团的收购，并进一步增强了ASML在半导体技术进步方面的能力。 TWINSCAN在：1150i，作为第一台沉浸式机器，于2003年首次亮相，然后是Twinscan XT：1250i，XT：1400I，并推出了第一批制作的沉浸式机器XT：1700I 2006年。

2007年，我们启动了Twinscan XT：1900i浸入系统，其直径为数值，这是该行业中最高的产品。有了这项新技术，我们使客户能够通过镜头和晶圆之间的水层生产较小的芯片功能。

在2007年后期，我们获得了Brion，这是领先的半导体设计和制造优化解决方案提供商。这是我们“整体灯光雕刻”策略的开始。在优化优化之前，之中和之后，我们在优化芯片制造过程的技能之前，将对光雕刻的知识结合在一起。

在我们整体光学策略的早期阶段，另一个关键产品是fardstar。这是我们的计量系统，可在芯片制造过程中提供真实的时间测量和校正。第一个Fardstar（250D）于2008年交付给客户。

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使用EUV再次改变时代

2010年，我们将第一个极地紫外线（Twinscan NXE：3100）运送到了亚洲芯片制造商的研究机构，这标志着新时代的开始。 EUV光刻使用较短的波长光来创建较小的芯片特征，从而生成更快，更强大的芯片。

2013年，我们收购了圣地亚哥的一家影光制造商Cymer，以加速EUV的发展。同年，我们启动了第二代EUV系统（NXE：3300），然后在2015年推出了第三代EUV系统（NXE：3350）。EUV光学技术在2016年进行了转移。客户开始订购我们的第一个生产 - 就绪系统NXE：3400。

在此期间，我们继续提高沉浸式光包系统的性能。芯片行业NXT1970CI和NXT1980DI的主要力量是在全球客户工厂安装的。

2016年，我们获得了领先的电子束工具供应商Hermes Microvision（HMI），并扩展了整体光学产品组合。通过我们的联合努力，电子束图形保护系统（EPFM5）在2017年首次发货。

继2018年总部位于多纳尔夫（Donalph）的高科技公司Mapper之后，ASML同意收购该公司的知识产权资产。

2020年初，EUV进入了大量生产，我们庆祝了第100届EUV系统的交付。但是2020年的意义是另一个原因：流行的Covid-19）很受欢迎。我们各地的团队通过创新的方法来支持客户，利用他们的专业知识来应对主要的流行病，并支持当地社区证明其适应和即兴创作的能力。

2020年11月，柏林格拉斯集团的收购完成了。我们正式欢迎Berliner Glas团队加入ASML家族。该集团的技术玻璃部门于2021年4月转移到GlasTrösch集团。

2023年，我们启动了第一组下一代EUV系统，数值直径为0.55（称为“高数值孔”）。该平台称为EXE，具有新颖的光学设计和明显，更快的平台。

期待未来，ASML将继续创造奇迹。

参考链接：

“ AI+”科学技术战略计划真实营地

结尾